【技术开发单位】中国科学院宁波材料技术与工程研究所

【技术简介】采用高密度微波等离子体CVD沉积技术合成大尺寸高质量单晶金刚石，具有高硬度、高耐磨性、高热导率及高红外透过率，能够应用于超精密加工、高功率激光窗口、量子计算机等领域。

【主要技术指标】单晶金刚石尺寸大于8*8*3mm3，红外透过率大于65%，硬度大于100  GPa，热导率大于1900  W/mK。

【技术水平】国内先进

【适用范围】产品将应用于超精密加工刀具，红外光学窗口，高功率激光散热基板，高压物理，合成珠宝等领域。

【专利状态】已取得专利5项

【技术状态】批量生产，成果应用阶段。

【合作方式】技术服务。

【投入需求】总投资1000万

【转化周期】一年，包括设备调试和工艺完善，生产线搭建，产品检测。

【预期效益】开发单晶金刚石超精密加工技术在我国精密制造、半导体加工、汽车、航天航空、能源、军工等领域发挥重要作用。建成一条产量8000～10000片/月高质量单晶金刚石生产线和配套的超精密研磨加工系统。以目前CVD单晶金刚石超精密加工刀具平均售价约2万元/把来计算，预计形成19～24亿元/年的产值。