1960年毕业于吉林工业大学机械制造工艺及设备专业，后在中国科学院长春光学精密机械研究所工作，历任研究员、研究室主任、博士生导师，1995年当选中国科学院院士。1998年调转到大连理工大学机械工程学院工作，任微机电系统研究中心主任、微纳米技术及系统辽宁省重点实验室主任。先后担任国家MEMS发展战略规划专家、国家中长期科学与技术发展规划专家，中国仪器仪表学会常务理事、中国计量测试学会常务理事、中国机械工程学会特邀理事、中国微米纳米技术学会副理事长。
目前在研项目：
863重点项目：聚合物微纳米制造及装备， 650万元，技术顾问
支撑计划重大项目智能高速列车的子项目，952.67万元，负责人
长期从事超精密齿轮工艺与测试研究，建立了相关精度理论与“正弦消减法”等误差补偿方法。研制出最高精度等级的精密齿轮和渐开线样板，用于工程和计量基准。80年代开展亚微米级传动链精度及高平稳性工作台等研究，用于光盘母板刻录设备。1992年组建中国第一个微机械（MEMS）研究室，1999年组建MEMS研究中心，开展单元与系统设计、制作、测试及运动学、动力学研究。先后获得国家科技进步二等奖2项、三等奖1项、全国科学大会奖1项、省部委奖励10余项。撰写论文200余篇、学术著作2本，发明专利10余项。为国家培养博士后7名、博士生38名、硕士生12名。